1.Dry pump節能方案 降低尾端排氣 (潔淨製程) 降低尾端排氣及粉塵阻塞 (特殊製程) 待機或依使用情況降低轉速
2.Cryo pump 壓縮機節能改造
3.高效熱回收裝置 適用Oven等需加熱的製程 透過熱氣循環利用降低Heater耗電
4.特殊隔熱材販售與安裝 低導熱係數: 0.025 W/(m*K) 不易產生粉塵、變質 耐熱溫度最高可達300℃ 可客製化製作包覆衣