產品與服務
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除膜製程

除膜製程(一) 

防著板經過鍍膜製程後,表面會有沉積Metal附著膜,這些附著膜一般則需經過浸泡化學藥液將其溶解剝離,本公司採用ULVAC設計之特殊物理性除膜設備,可將附著膜直接剝離,藉此可以延長部品使用壽命;針對貴金屬除膜回收的部份,使用此特殊物理性除膜製程,可簡化回收流程並提高回收率。

除膜製程(二)

雷射除膜適用於製程Chamber內部除膜作業,針對腔體表面附著膜,藉由雷射光源將附著膜氣化,達到除膜效果。使用雷射清洗機進行雷射除膜,既不損傷部品,且方便攜帶、設置及操作簡易之特性,可提高工作效率。

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